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问题更新日期：2024-04-19 01:06:24
问题描述
磁控镀膜中，氧气、氩气，分别起什么作用，在线求解答
- 精选答案
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氩气：工作气体，该气体在工业生产中离子清洗时和镀膜时都用到，主要作用是轰击靶材。
（辉光，蓝色）氧气：反应气体，该气体一般用于反应溅射镀膜中，像镀ITO/SIO2等，还有做其他颜色膜层时都会用到的，主要作用是与溅射出来的靶微粒反应，生产氧化物。（辉光，红紫色）顺便给你说一下另外的氮气：反应气体，一般做颜色膜层时用到，或者破真空时用到。（辉光，黄色）氦气：检漏用。光是由于电子跃迁产生的，物质一定，在一定的范围内颜色不变。
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