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磁控溅射镀膜中，氧气，氩气，氮气，分别起什么主要作用
问题更新日期：2024-04-19 01:06:24
问题描述
磁控溅射镀膜中，氧气，氩气，氮气，分别起什么主要作用，麻烦给回复
- 精选答案
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1.镀金属膜时，一般用氩气作为工作气体，它是惰性气体，在真空状态下加热基片时不会发生氧化作用。
2.氧气一般用于镀非金属膜，如TiO2，不必担心镀好膜后发生膜氧化现象。
3. 氮气是在换靶镀膜时往真空室冲入的气体，让真空室内压强和大气压强保持相等，才能开盖换靶镀另一层膜。 可能解释还不是很清楚，如有疑问，可以继续提问
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