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像元邻近效应

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问题更新日期:2024-07-11 19:29:59

问题描述

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光学邻近效应

光学邻近效应 (Optical Proximity Effect, OPE)是由于部分相干成像过程中的非线性空间滤波,像强度频谱的能量分布和位相分布相对理想像频谱有一定畸变,并最终大大降低了成像质量,即引发光学邻近效应。