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evd光刻机原理

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问题更新日期:2024-06-25 16:04:15

问题描述

evd光刻机原理希望能解答下
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evd光刻机是一种利用电子束来进行微细图案制作的设备。它的工作原理是将电子束通过电子枪产生,并通过一系列电磁透镜将其聚焦到纳米级别的尺寸。

然后,将待加工的薄膜覆盖在基片上,通过控制电子束的扫描路径,将图案逐步写入薄膜中。

最后,通过化学处理将未被电子束照射到的区域去除,形成所需的微细图案。这种光刻技术在半导体制造、光电子学和纳米器件等领域有着广泛的应用。