mems的基本概念和基本构成

问题描述

精选答案

微机电系统(MEMS)基本上是指尺寸在几厘米以下乃至更小的小型装置，是一个独立的智能系统，主要由传感顺、作动器（执行器）和微能源三大部分组成。MEMS技术的出现开辟了一个全新的领域和产业。它们具有许多传统传感器无法比拟的优点，因此在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控和军事等领域都有着十分广阔的应用前景。

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MEMS（Micro Electro Mechanical System）是微电子机械系统的缩写，是一种将微纳制造技术与电子技术、机械技术相结合的新型技术。其基本构成包括微结构件、电路和控制系统，通过微加工技术制造微结构件，通过电子技术和控制系统实现对微结构件的控制和操作。