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掩膜的材料
问题更新日期：2024-04-18 17:25:28
问题描述
掩膜的材料求高手给解答
- 精选答案
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掩膜主要由透光的基板和不透光的遮光膜组成。
按基板材料分类,主要分为玻璃基板(石英玻璃、苏打玻璃和硼硅玻璃)和树脂基板两大类;其中,因石英玻璃的化学稳定性高和热膨胀率小的优势,在使用环境上相对于其他材料对工艺生产环境的要求较低,现主要应用于制造高世代、高精度产品如高世代IC和超大尺寸显示面板。
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