蚀刻机和光刻机区别

问题描述

精选答案

刻蚀相对光刻要容易。

光刻机把图案印上去，然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案(或者没有图案)的部分，留下剩余的部分。“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆(或者叫硅片)上盖上事先做好的光刻板，然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行一定时间的照射。原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质，易于腐蚀。“刻蚀”是光刻后，用腐蚀液将变质的那部分光刻胶腐蚀掉(正胶)，晶圆表面就显出半导体器件及其连接的图形。然后用另一种腐蚀液对晶圆腐蚀，形成半导体器件及其电路。光刻机一般根据操作的简便性分为三种，手动、半自动、全自动。相信我的解读，大家都理解了他们的区别了吧