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duv和euv技术区别
问题更新日期：2024-03-20 00:54:03
问题描述
duv和euv技术区别，麻烦给回复
- 精选答案
-
DUV是深紫外线（Deep Ultraviolet Lithography），EUV是极深紫外线（Extreme Ultraviolet Lithography）。
从制程范围来看，DUV基本上只能做到25nm，Intel凭借双工作台的模式做到了10nm，但是却无法达到10nm以下。只有EUV能满足10nm以下的晶圆制造，并且还可以向5nm、3nm继续延伸。
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